1、按照管式炉的温度和加热元件分:有1200℃的电阻丝管式炉、有1400℃的硅碳棒管式炉、有1600度的硅钼棒管式炉、石墨管式炉。?
2、按照炉管材质分:有石英管管式炉,不锈钢管管式炉和刚玉管管式炉。??
3、按照加热部结构分:有开启式管式炉和一体式管式炉。??
4、按照炉体结构分有:水平管式炉、立式(竖式)管式炉、多工位管式炉、倾斜管式炉、旋转管式炉、滑轨管式炉。??
5、按照控温区域:可为单温区管式炉和双温区管式炉,三温区管式炉,五温区管式炉等)??
7、还可以按照真空度分为高、低真空管式炉??
8、其它的也可按用途也:比如快速退火管式炉,CVD管式炉、PECVD管式炉等。??
2、按照炉管材质分:有石英管管式炉,不锈钢管管式炉和刚玉管管式炉。??
3、按照加热部结构分:有开启式管式炉和一体式管式炉。??
4、按照炉体结构分有:水平管式炉、立式(竖式)管式炉、多工位管式炉、倾斜管式炉、旋转管式炉、滑轨管式炉。??
5、按照控温区域:可为单温区管式炉和双温区管式炉,三温区管式炉,五温区管式炉等)??
7、还可以按照真空度分为高、低真空管式炉??
8、其它的也可按用途也:比如快速退火管式炉,CVD管式炉、PECVD管式炉等。??
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